Method for producing bonded semiconductor wafer

WO2023100526 Art A1 8. Juni 2023

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023100526
Aktenzeichen
EP22900959
Anmeldetag
21. Oktober 2022
Veröffentlichung
8. Juni 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L33/20H01L21/02H01L33/30H01L33/48H01L33/62
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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