Substrate processing apparatus and guard determination method

WO2023100690 Art A1 8. Juni 2023

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023100690
Aktenzeichen: EP22901123
Anmeldetag: 18. November 2022
Veröffentlichung: 8. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B05C5/00B05C11/00B05C11/08B05C11/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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