Height adjustment member, heat treatment apparatus and electrostatic chuck device

WO2023100821 Art A1 8. Juni 2023

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023100821
Aktenzeichen: EP22901253
Anmeldetag: 28. November 2022
Veröffentlichung: 8. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C23C16/458H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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