Method for measuring concentration of oh radical in reaction zone using laser absorption spectrometry
WO2023101192
Art A1
8. Juni 2023
Anmelder: KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023101192
- Aktenzeichen
- EP22901552
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 8. Juni 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/39G01N21/31G06F17/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Institute of Industrial Technology
Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.
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