Pressure sensing device
WO2023101960
Art A1
8. Juni 2023
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023101960
- Aktenzeichen
- EP22902078
- Anmeldetag
- 29. November 2022
- Veröffentlichung
- 8. Juni 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01L19/14G01L19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
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