Monitoring sample properties using image-based mass distribution metrology

WO2023101983 Art A1 8. Juni 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023101983
Aktenzeichen: EP22902094
Anmeldetag: 29. November 2022
Veröffentlichung: 8. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/06G01N21/25G01N21/41G01N21/84G06T7/60G06N20/00C23C14/54C23C16/52G01N21/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung

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