Pumping and processing device and method

WO2023104539 Art A1 15. Juni 2023

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023104539
Aktenzeichen
EP22822389
Anmeldetag
25. November 2022
Veröffentlichung
15. Juni 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/44F04C23/00F04C25/02F04B41/06F04B49/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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