Vacuum line and installation having the vacuum line

WO2023104639 Art A1 15. Juni 2023

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023104639
Aktenzeichen
EP22829740
Anmeldetag
1. Dezember 2022
Veröffentlichung
15. Juni 2023
Rechtsraum
WO
IPC
B01J3/00B01J3/02F04C14/28F04C29/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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