Method for optimizing a pupil stop shape for simulating illumination and imaging properties of an optical production system during the illumination and imaging of an object by means of an optical measurement system

WO2023104687 Art A1 15. Juni 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023104687
Aktenzeichen: EP22823588
Anmeldetag: 5. Dezember 2022
Veröffentlichung: 15. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G02B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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