Exposure method and exposure system
WO2023105874
Art A1
15. Juni 2023
Anmelder: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA, ADTEC ENGINEERING CO., LTD., FUKUOKA INDUSTRY, SCIENCE&TECHNOLOGY FOUNDATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023105874
- Aktenzeichen
- EP22903809
- Anmeldetag
- 14. September 2022
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA
ADTEC ENGINEERING CO., LTD.
FUKUOKA INDUSTRY, SCIENCE&TECHNOLOGY FOUNDATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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