Composition for resist underlayer film formation including polymer containing polycyclic aromatic

WO2023106364 Art A1 15. Juni 2023

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023106364
Aktenzeichen
EP22904292
Anmeldetag
8. Dezember 2022
Veröffentlichung
15. Juni 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11C08F12/00C08F26/06G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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