Method for densely filling micrometric or sub-micrometric inter-wire spaces with an organosilicated hybrid matrix and composite device thus obtained

WO2023111477 Art A1 22. Juni 2023

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, UNIVERSITE GRENOBLE ALPES 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023111477
Aktenzeichen: EP22847563
Anmeldetag: 15. Dezember 2022
Veröffentlichung: 22. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L33/20H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
UNIVERSITE GRENOBLE ALPES
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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