Si membrane structure used to produce pellicle, and method for producing pellicle

WO2023112330 Art A1 22. Juni 2023

Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023112330
Aktenzeichen: EP21968243
Anmeldetag: 17. Dezember 2021
Veröffentlichung: 22. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F1/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK INSULATORS, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von