Method for removing lanthanum compound and processing liquid for lanthanum compound removal

WO2023112453 Art A1 22. Juni 2023

Anmelder: RESONAC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023112453
Aktenzeichen
EP22906988
Anmeldetag
12. Oktober 2022
Veröffentlichung
22. Juni 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/308C11D7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
RESONAC CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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