Substrate-processing method, substrate-processing device, and program

WO2023112585 Art A1 22. Juni 2023

Anmelder: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION, AIR WATER INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023112585
Aktenzeichen: EP22907116
Anmeldetag: 16. November 2022
Veröffentlichung: 22. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316C23C16/04C23C16/40C23C16/455H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION
AIR WATER INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

538 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von