Film-forming method

WO2023112970 Art A1 22. Juni 2023

Anmelder: AIR WATER INC., KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023112970
Aktenzeichen: EP22907493
Anmeldetag: 14. Dezember 2022
Veröffentlichung: 22. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AIR WATER INC.
KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

538 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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