An Euv Pellicle

WO2023117853 Art A1 29. Juni 2023

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023117853
Aktenzeichen: EP22835832
Anmeldetag: 19. Dezember 2022
Veröffentlichung: 29. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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