Electrostatic chuck member, electrostatic chuck device, and production method for electrostatic chuck member

WO2023120258 Art A1 29. Juni 2023

Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023120258
Aktenzeichen: EP22910968
Anmeldetag: 9. Dezember 2022
Veröffentlichung: 29. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00C04B37/00H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

603 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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