Nanotransfer method without chemical treatment and substrate manufactured thereby

WO2023121367 Art A1 29. Juni 2023

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS, NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023121367
Aktenzeichen: EP22912000
Anmeldetag: 22. Dezember 2022
Veröffentlichung: 29. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/283H01L21/3205H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS
NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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