Apparatus including a substrate chuck, a dispenser, and a planarization head and methods of using the same

WO2023121801 Art A1 29. Juni 2023

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023121801
Aktenzeichen: EP22912236
Anmeldetag: 21. November 2022
Veröffentlichung: 29. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/687B05C1/02B05C11/02B65G49/06B65G49/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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