Diagnostic methods for substrate manufacturing chambers using physics-based models

WO2023121893 Art A1 29. Juni 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023121893
Aktenzeichen: EP22912289
Anmeldetag: 9. Dezember 2022
Veröffentlichung: 29. Juni 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02G05B19/418G06N20/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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