Laser beam steering system and method

WO2023126106 Art A1 6. Juli 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023126106
Aktenzeichen: EP22818815
Anmeldetag: 22. November 2022
Veröffentlichung: 6. Juli 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/00H05G2/00G02F1/11G02F1/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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