Element Of an Afm Tool

WO2023126300 Art A1 6. Juli 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023126300
Aktenzeichen: EP22838866
Anmeldetag: 22. Dezember 2022
Veröffentlichung: 6. Juli 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q10/04G01Q70/14G03F7/20G01Q60/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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