Methods and systems for regularizing the optimization of application specific semiconductor measurement system parameter settings

WO2023129279 Art A1 6. Juli 2023

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023129279
Aktenzeichen: EP22917147
Anmeldetag: 8. November 2022
Veröffentlichung: 6. Juli 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02G01B11/24G01B21/04G01N21/95G01N21/93H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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