Hierarchical anomaly detection and data representation method to identify system level degradation

WO2023131485 Art A1 13. Juli 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023131485
Aktenzeichen: EP22835038
Anmeldetag: 14. Dezember 2022
Veröffentlichung: 13. Juli 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02G06N3/04G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von