Mechanically controlled stress-engineered optical systems and methods

WO2023131589 Art A1 13. Juli 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., UNIVERSITY OF ROCHESTER 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023131589
Aktenzeichen: EP23700056
Anmeldetag: 2. Januar 2023
Veröffentlichung: 13. Juli 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
UNIVERSITY OF ROCHESTER
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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🇺🇸 University of Rochester

Private US-amerikanische Forschungsuniversität in Rochester, New York, gegründet 1850. Bekannt für Forschung in Optik, Medizin und Naturwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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