Verfahren zum Nachbilden von Beleuchtungs- und Abbildungseigenschaften eines Optischen Produktionssystems bei der Beleuchtung und Abbildung eines Objekts mittels eines Optischen Messsystems

WO2023135131 Art A1 20. Juli 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023135131
Aktenzeichen: EP23700196
Anmeldetag: 10. Januar 2023
Veröffentlichung: 20. Juli 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01M11/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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