Methods and apparatuses for forming semiconductor devices containing tungsten layers using a tungsten growth suppressant

WO2023136854 Art A1 20. Juli 2023

Anmelder: Sandisk Technologies LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023136854
Aktenzeichen
EP22920923
Anmeldetag
18. Mai 2022
Veröffentlichung
20. Juli 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/285H01L21/768C23C16/14C23C16/455C23C16/02C23C16/04H10B41/27
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sandisk Technologies LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 SanDisk

US-amerikanischer Hersteller von Flash-Speicherprodukten wie SSDs, Speicherkarten und USB-Sticks. Das Unternehmen war zeitweise Teil von Western Digital und agiert seit 2025 wieder eigenständig.

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