Methods of epitaxially growing boron-containing structures

WO2023136860 Art A1 20. Juli 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023136860
Aktenzeichen
EP22920928
Anmeldetag
15. Juli 2022
Veröffentlichung
20. Juli 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C30B25/16C30B25/18C30B29/52H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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