Methods for simultaneous generation of a trap-rich layer and a box layer

WO2023137358 Art A1 20. Juli 2023

Anmelder: MURATA MANUFACTURING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023137358
Aktenzeichen
EP23740815
Anmeldetag
12. Januar 2023
Veröffentlichung
20. Juli 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/762H01L21/02H01L21/322H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Murata Manufacturing

Japanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Kyoto. Murata entwickelt und produziert elektronische Bauelemente wie Kondensatoren, Sensoren und Kommunikationsmodule für Elektronikgeräte.

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