Double-sided polishing device
WO2023139945
Art A1
27. Juli 2023
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023139945
- Aktenzeichen
- EP22922096
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2022
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B37/013B24B37/08B24B37/12B24B37/26B24B49/04B24B49/12H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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