Antenna, and plasma processing device

WO2023139957 Art A1 27. Juli 2023

Anmelder: NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023139957
Aktenzeichen
EP22922108
Anmeldetag
8. Dezember 2022
Veröffentlichung
27. Juli 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/46C23C14/40C23C16/505H01L21/3065H01L21/31
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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