Polishing composition, concentrated solution of polishing composition, and polishing method

WO2023140146 Art A1 27. Juli 2023

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023140146
Aktenzeichen
EP23743141
Anmeldetag
10. Januar 2023
Veröffentlichung
27. Juli 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/00C09G1/02C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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