Methods and systems for targeted monitoring of semiconductor measurement quality

WO2023140957 Art A1 27. Juli 2023

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023140957
Aktenzeichen
EP22922488
Anmeldetag
22. Dezember 2022
Veröffentlichung
27. Juli 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/95G01N21/956G01N21/88G06N20/00H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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