System for holding an object in a semiconductor manufacturing process, lithographic apparatus provided with said system and method

WO2023143896 Art A1 3. August 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023143896
Aktenzeichen: EP23700128
Anmeldetag: 9. Januar 2023
Veröffentlichung: 3. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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