Computer implemented method for the detection and classification of anomalies in an imaging dataset of a wafer, and systems making use of such methods

WO2023143950 Art A1 3. August 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023143950
Aktenzeichen: EP23701032
Anmeldetag: 17. Januar 2023
Veröffentlichung: 3. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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