Substrate cleaning method, glass substrate manufacturing method, euvl mask blank manufacturing method, and substrate cleaning apparatus

WO2023145431 Art A1 3. August 2023

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023145431
Aktenzeichen: EP23746646
Anmeldetag: 11. Januar 2023
Veröffentlichung: 3. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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