Method for detaching resin mask

WO2023145826 Art A1 3. August 2023

Anmelder: KAO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023145826
Aktenzeichen: EP23747036
Anmeldetag: 26. Januar 2023
Veröffentlichung: 3. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/42H01L21/027H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kao

Japanischer Konsumgüter und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio. Kao entwickelt Produkte und Technologien für Körperpflege, Kosmetik, Haushaltsreiniger sowie chemische Spezialstoffe.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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