Substrate processing device, and method for manufacturing metal oxide semiconductor

WO2023146194 Art A1 3. August 2023

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023146194
Aktenzeichen: EP23747236
Anmeldetag: 17. Januar 2023
Veröffentlichung: 3. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L29/66H01L21/8234C23C16/455C23C16/44H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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