Systems and methods for storing molecular diborane

WO2023147027 Art A1 3. August 2023

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023147027
Aktenzeichen: EP23747636
Anmeldetag: 27. Januar 2023
Veröffentlichung: 3. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: F17C11/00B01J20/20B01J20/28C01B6/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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