Diagnostic device, diagnostic method, semiconductor manufacturing device system, and semiconductor device manufacturing system

WO2023148967 Art A1 10. August 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023148967
Aktenzeichen: EP22924876
Anmeldetag: 7. Februar 2022
Veröffentlichung: 10. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02H01L21/02H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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