Portable robot for semiconductor equipment maintenance tasks

WO2023149958 Art A1 10. August 2023

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023149958
Aktenzeichen: EP22925208
Anmeldetag: 19. Dezember 2022
Veröffentlichung: 10. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B25J11/00B25J9/16B25J9/12B25J19/02B25J19/06H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von