Cleanroom compatible robotic end effector exchange system
WO2023150088
Art A1
10. August 2023
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023150088
- Aktenzeichen
- EP23750093
- Anmeldetag
- 31. Januar 2023
- Veröffentlichung
- 10. August 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B25J15/04B25J15/00B25J19/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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