Atomic layer etching of metals using co-reactants as halogenating agents

WO2023150520 Art A1 10. August 2023

Anmelder: MERCK PATENT GMBH, NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023150520
Aktenzeichen: EP23708637
Anmeldetag: 1. Februar 2023
Veröffentlichung: 10. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213C23F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MERCK PATENT GMBH
NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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🇺🇸 North Carolina State University

US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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