Defect inspecting device and defect inspecting method

WO2023152848 Art A1 17. August 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023152848
Aktenzeichen: EP22925869
Anmeldetag: 9. Februar 2022
Veröffentlichung: 17. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00H01L21/66G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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