Laminate and electrostatic chuck device

WO2023153118 Art A1 17. August 2023

Anmelder: TOMOEGAWA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023153118
Aktenzeichen: EP23752587
Anmeldetag: 6. Januar 2023
Veröffentlichung: 17. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B32B18/00C23C26/00H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOMOEGAWA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tomoegawa

Tomoegawa ist ein japanischer Hersteller von Spezialpapieren und Funktionsmaterialien mit Sitz in Tokio, der unter anderem Materialien für Elektronik und optische Anwendungen produziert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik- und Fototechnik sowie Halbleiter- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

256 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von