Methods of fabricating micro electro-mechanical systems structures

WO2023154993 Art A1 24. August 2023

Anmelder: THE UNIVERSITY OF BRITISH COLUMBIA 🇨🇦

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023154993
Aktenzeichen: EP22926364
Anmeldetag: 18. Februar 2022
Veröffentlichung: 24. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00B81B7/02G05B19/18H10N30/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE UNIVERSITY OF BRITISH COLUMBIA
Land: 🇨🇦 Kanada

🇨🇦 University of British Columbia

Kanadische öffentliche Forschungsuniversität mit Hauptsitz in Vancouver, gegründet 1908.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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