Method of in-line inspection of a substrate, scanning electron microscope, and computer-readable medium

WO2023155078 Art A1 24. August 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023155078
Aktenzeichen: EP22926416
Anmeldetag: 16. Februar 2022
Veröffentlichung: 24. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28H01J37/22G06T7/55

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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