Shallow trench isolation structure, preparation method therefor, and semiconductor structure

WO2023155263 Art A1 24. August 2023

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023155263
Aktenzeichen
EP22926581
Anmeldetag
17. März 2022
Veröffentlichung
24. August 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/76
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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