Systems and methods for defect location binning in charged-particle systems

WO2023156125 Art A1 24. August 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023156125
Aktenzeichen: EP23701856
Anmeldetag: 19. Januar 2023
Veröffentlichung: 24. August 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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